Ätzgeschwindigkeit

Herstellungsverfahren mit Überwachung der Ätzgeschwindigkeit.

Manufacturing method, including etch-rate monitoring.

Diese Technik dient ausschließlich dazu, die Ätzgeschwindigkeit für das Abätzen isolierender Bereiche oberhalb eines Metallschichtbereiches verglichen mit der Ätzgeschwindigkeit von isolierenden Bereichen, die nicht oberhalb von Metallschichtbereichen liegen, anzuheben, um dadurch Erhöhungen der isolierenden Schicht oberhalb der Metallschichtbereiche verstärkt abzutragen.

This technique serves exclusively the purpose of increasing the etching rate for etching away insulating areas above a metal layer region in comparison with the etching rate of insulating areas which are not located above metal layer regions so as to cause thus an increased removal of raised portions of the insulating layer above the metal layer regions This is intended to result in a reduction of the topographical steps, which the insulating film has due to the metal layer regions located below said film.