Ätzverfahren

o Vibrograph oder elektrolytisches Verfahren: Bei elektrolytischen Ätzverfahren dürfen nur schadstoffarme Elektrolyte verwendetwerden

o vibrograph or electrolytic process: In electrolytic etching only emission electrolytes may be used

Plasma-Ätzverfahren.

Plasma etching process.

Dies geschieht vorzugsweise durch ein geeignetes Ätzverfahren.

This is preferably done by means of a suitable etching method.

So können wirtschaftliche Laser- und Ätzverfahren zur Fertigung eingesetzt werden.

Thus economical laser and etching processes can be used for their production.

ÄTZVERFAHREN MITTELS GASPLASMA.

PROCESS FOR ETCHING WITH GASEOUS PLASMA.

Gleiches gilt für die Ätzverfahren zum isotropen und anisotropen Ätzen von Sio und Si N .

The same applies to the etching processes for the isotropic and anisotropic etching of SiO.sub.2 and Si.sub.x N.sub.1-x.

Trockenes Ätzverfahren für eine Siliziumnitridschicht.

Process for dry etching a silicon nitride layer.

ELEKTROCHEMISCHES ÄTZVERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ENTFERNEN VON FREMDPHASEN AN DER OBERFLÄCHE EINES SULFIDHALTIGEN CHALKOPYRITHALBLEITERS

ELECTROCHEMICAL ETCHING PROCESS FOR THE SELECTIVE REMOVAL OF CONTAMINANT PHASES ON THE SURFACE OF A SULPHIDE-CONTAINING CHALCOPYRITE SEMICONDUCTOR