Absorberschicht

Es ist auch möglich, unterhalb der Absorberschicht eine Reflexionsschicht anzuordnen.

[0011] It is also possible to arrange a reflective layer underneath the absorber layer.

Das Trocknen der Absorberschicht erfolgt vorzugsweise in einem geschlossenen Rohrleitungskreislauf mittels Inertgas (z.B. Stickstoff).

[0057] Drying of the adsorber layer preferably takes place in a closed pipe system by means of inert gas (e.g. nitrogen).

Wie auch bei den beiden letztgenannten Schriften wird zur Lösung der Haftungsprobleme der Absorberschicht auf der Rückelektrode ein Haftvermittler eingeführt.

The intermediate layer is of titanium nitride and is arranged over a titanium back electrode. The intermediate layer is arranged over a molybdenum back electrode. As in the case of the last two mentioned documents, the adhesive layer is introduced in order to solve the problem of adhesion of the absorber layer to the back electrode.

Reflektierende räumliche Lichtmodulatoranordnung (10), um Licht zur Erzeugung eines Bildes zu modulieren, wobei die Modulatoranordnung eine Mehrzahl von in einem Halbleitersubstrat ausgebildeten elektrischen Schaltkreisen sowie eine Mehrzahl von darauf ausgebildeten Flüssigkristallbauelementen beinhaltet, wobei die Flüssigkristallbauelemente (12) mit den elektrischen Schaltkreisen gekoppelt sind, um eine Spannung über ihre oberen und unteren Elektroden hinweg anzulegen, wobei jedes der Flüssigkristallbauelemente (12) eine Spiegelschicht (30) und eine Reflektor-/Absorberschicht (34) beinhaltet, die derart angeordnet sind, dass jedes der Flüssigkristallbauelemente (12) des Weiteren beinhaltet: einen zweiten Kondensator (50), der sich unterhalb des ersten Kondensators (48) befindet und mit diesem gekoppelt ist, um eine Pixelspeicherkapazität zum Halten der Spannung über die obere und die untere Elektrode hinweg bereitzustellen, wobei der zweite Kondensator (50) durch eine obere und eine untere Polysiliciumschicht (18, 20) gebildet ist, die eine dielektrische Schicht (38) einbetten.

A reflective spatial light modulator (10) array for modulating light to form an image, said modulator array comprising a plurality of electrical circuits formed in a semiconductor substrate and a plurality of liquid crystal devices formed thereon, said liquid crystal devices (12) being coupled to said electrical circuits for placing a voltage across its top and bottom electrodes, each of said liquid crystal devices (12) comprising a mirror layer (30) and a reflector/absorber layer (34) arranged such that each of said liquid crystal devices (12) further comprises a second capacitor (50) situated underneath said first capacitor (48) and being coupled to it to provide a pixel storage capacitance for holding said voltage across said top and bottom electrodes, said second capacitor (50) being formed by an upper and a lower polysilicon layer (18, 20) embedding a dielectric layer (38).