Elektronenstrom

Dadurch entsteht insgesamt ein Elektronenstrom in eine bestimmte Richtung.

This results an electron current in a certain direction.

Die Ladungsträger werden in dem sich ausbildenden Feld getrennt und werden als verstärkter Elektronenstrom gemessen.

The charge carriers are separated in the field which is being generated and are measured as an amplified electron current.

Bogenentladungsverdampfer, insbesondere zur Herstellung von Misch- und Mehrfachschichten, der eine Katode, mehrere anodische Verdampferquellen, die gegeneinander isoliert und jeweils an eine separate Stromquelle angeschlossen sind, sowie ein Magnetsystem aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Verdampferquellen (1, 2, 16) innerhalb einer kompakten Baugruppe mit geringem Abstand zueinander und im wesentlichen in einer Ebene um das Zentrum des Elektronenstroms der Bogenentladung herum angeordnet sind, gegenüber der Katode als Anode geschaltet sind und gemeinsam von einem Magnetsystem (5, 6) umschlossen sind wobei im Betrieb der Elektronenstrom durch das Magnetfeld auf eine und/oder mehrere Verdampferquellen gelenkt wird.

Arc discharge evaporator, in particular for producing a mixture of layers and multi-layers, which comprises a cathode, a plurality of anodic evaporation sources, which are isolated with respect to each other and are connected in each case to a separate source of current, as well as a magnet system, characterised in that the evaporation sources (1, 2, 16) are disposed within a compact subassembly at a spaced disposition with respect to each other and substantially in one plane about the centre of the electron current of the arc discharge, are connected opposite the cathode as an anode and are encompassed in common by a magnet system (5, 6), wherein during operation the electron current is directed by virtue of the magnetic field to one and/or a plurality of evaporation sources.

Anlage nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass das Widerstandselement ein Stellglied in einem Temperaturregelkreis für das Gut oder in einer Temperatursteuerung für die Guttemperatur ist oder für den auf das Gut auftreffenden Elektronenstrom.

An installation according to claim 32 characterised in that the resistance element is a control member in a temperature regulating circuit for the object or in a temperature control means for the object temperature or for the electron stream impinging on the object.