Halbleitertechnologie

führende halbleitertechnologie

leading semiconductor technology

In der Halbleitertechnologie verwandte Isolatoren/Dielektrika und ihre Eigenschaften

In semiconductor technology related insulators / dielectrics and their properties

mit der Hilfe der Halbleitertechnologie gibt es inzwischen

with the help of the semiconductor technology, there are now

mit der Hilfe der Halbleitertechnologie ist es inzwischen auch möglich

with the help of the semiconductor technology, it is now also possible

Bedingt durch Technologieschritte bei der Halbleitertechnologie geschieht dies durch verkleinerte Strukturen auf den Halbleitern.

Following advances in semiconductor technology, this means miniaturized structures on the semiconductors.

Dadurch besteht die Möglichkeit einer Miniaturisierung in Kompatibilität zur Halbleitertechnologie.

This permits miniaturization for compatibility with semiconductor technology.

Fortentwicklung auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie sind weitere lithographische Herstellungsverfahren, beispielsweise EUV-Lithographie oder Röntgenlithographie grundsätzlich für die Herstellung solcher Oberflächen denkbar.

Based on the permanent continued development in the field of semiconductor technology, further lithographic manufacturing methods such as, for example, EUV-lithography or X-ray lithography are conceivable in principle for the manufacture of such surfaces.

In den vier beschriebenen Ausführungsbeispielen wird bei der Herstellung der Phasenmasken lediglich von in der Halbleitertechnologie oder Maskentechnik gebräuchlichen Standardprozeßschritten Gebrauch gemacht.

In the four described exemplary embodiments, the manufacture of the phase masks utilizes only standard process steps that are usual in semiconductor technology or mask techniques.