Kreisbahnen

2 Kreisbahnen mit einem Abstand von 2mm zu den Stirnseiten und je 9 Messpunkte pro Kreisbahn

2 circuits with a distance of 2 mm to the sides and 9 measuring points per circle

Wegen des hohen Kollimationsgrades der von den auf Kreisbahnen umlaufen­ den Elektronen emittierten Synchrotonstrahlung erfolgt die Belichtung des in mehreren Metern Abstand von der Quelle (Speicherring) angeordneten Masken-Wafer-Paares mittels einer nahezu exakten Parallelprojektion (L ? ? ). Um auch in der Synchrotonlithografie hohen Überdeckungs­ grad (Overlay) zu gewährleisten muß sichergestellt sein, daß Größenänderungen von Maske und Wafer durch Anpassung des Abbildungsmaßstabes kompensiert werden können.

As a consequence of the high collimation degree of the synchroton radiation emitted by the electrons circulating on the circular path, the exposure of the mask-wafer pair arranged at a distance of several meters from the source or storage ring occurs on the basis of nearly exact parallel projection and, thus, L??. In order to also guarantee a high overlay degree in the synchroton lithography, it must be assured that size variations of mask and wafer can be compensated by adapting the imaging scale.

" Zaltbommel 1984, ISBN 90-288-2718-8* Heinz-Herbert Schöning: "Die Eckernförder Kreisbahnen.

Zaltbommel 1984, ISBN 90-288-2718-8* Heinz-Herbert Schöning: "Die Eckernförder Kreisbahnen".

Mai 2000, nur Güterverkehr, s.a. Freightliner PL* HellertalBahn GmbH (Personennahverkehr in Rheinland-Pfalz/Hessen/Nordrhein-Westfalen)* Hersfelder Eisenbahn GmbH* Hessische Güterbahn GmbH (nur Güterverkehr)* Hessische Landesbahn GmbH (Personen- und Güterverkehr in Hessen)** HLB Hessenbahn GmbH** HLB Basis AG (Infrastrukturunternehmen)* Hohenzollerische Landesbahn AG (HzL) (in Baden-Württemberg)* HSL Logistik GmbH (nur Güterverkehr)* Hupac Deutschland GmbH* Hochwaldbahn Verkehrsgesellschaft mbH=== I–K ===* Ilmebahn GmbH (ILM) (nur Güterverkehr)* Ilztalbahn GmbH* InfraLeuna (Leuna)* Inselbahn Langeoog (Schifffahrt der Inselgemeinde Langeoog)* Industrie Transportgesellschaft Brandenburg mbH* IntEgro Verkehr GmbH* Internationale Gesellschaft für Eisenbahnverkehr (IGE, Hersbruck)* Kahlgrund Verkehrs-GmbH (derzeit nur Infrastruktur und Busverkehr)* Karsdorfer Eisenbahngesellschaft (KEG, insolvent)* Kassel-Naumburger Eisenbahn AG* Kölner Verkehrs-Betriebe AG (KVB), Stadtbahn Köln auf Eisenbahnstrecken* Kreisbahn Aurich GmbH* Kreisbahn Mansfelder Land GmbH (KML)* Kreisbahn Siegen-Wittgenstein GmbH=== L–M ===* Lappwaldbahn GmbH (Weferlingen)* LDS GmbH - Logistik Dienstleistungen & Service (Eutin)* Leipziger Eisenbahnverkehrsgesellschaft mbH (LEG)* locomore rail GmbH & Co. KG (Berlin)* LOCON Logistik & Consulting AG* Lokomotion Gesellschaft für Schienentraktion mbH* Lotrac Eisenbahnverkehrsunternehmen GmbH (Eisenach)* Lüchow-Schmarsauer Eisenbahn GmbH (nur noch Busverkehr)* Märkische Verkehrsgesellschaft (Lüdenscheid)* Mecklenburgische Bäderbahn Molli GmbH & Co KG (Schmalspurbahn)* metronom Eisenbahngesellschaft mbH (Personennahverkehr im Raum Niedersachsen)* MEV Eisenbahn-Verkehrsgesellschaft mbH, Mannheim* mgw Service GmbH & Co KG Kassel* Mindener Kreisbahnen GmbH (MKB) (nur Güterverkehr)* Mittelweserbahn GmbH* Muldental-Eisenbahnverkehrsgesellschaft mbH (MTEG)=== N ===* Neukölln-Mittenwalder Eisenbahn-Ges.

* Hochwaldbahn Servicegesellschaft mbH* Hohenzollerische Landesbahn AG (HzL) (in Baden-Württemberg)* HSL Logistik GmbH (only goods traffic)* Hupac Deutschland GmbH=== I–K ===* Ilmebahn GmbH (ILM) (only goods traffic)* Infraleuna GmbH (Leuna)* Inselbahn Langeoog (shipping services for the island of Langeoog)* Industrie Transportgesellschaft mbH (ITB, Brandenburg)* Internationale Gesellschaft for Eisenbahnverkehr (IGE, Hersbruck) with their long-distance train Mitfahrzug* ITL Eisenbahngesellschaft mbH (Goods traffic, bought by SNCF Geodis in 2010)* Kahlgrund Verkehrs-GmbH* Karsdorfer Eisenbahngesellschaft (KEG, insolvent)* Kassel-Naumburger Eisenbahn AG* Keolis Deutschland GmbH & Co. KG, Berlin (eurobahn)* Kölner Verkehrs-Betriebe AG (KVB) Stadtbahn Köln on railway lines* Kreisbahn Mansfelder Land GmbH (KML)* Kreisbahn Siegen-Wittgenstein GmbH=== L–M ===* Lappwaldbahn GmbH (Weferlingen)* LDS GmbH - Logistik Dienstleistungen & Service (Eutin)* Leipziger Eisenbahnverkehrsgesellschaft mbH (LEG)* LOCON Logistik & Consulting AG* Lokomotion Gesellschaft for Schienentraktion mbH* Lotrac Eisenbahnverkehrsunternehmen GmbH (Eisenach)* Lüchow-Schmarsauer Eisenbahn GmbH* Märkische Verkehrsgesellschaft (Lüdenscheid)* Mecklenburgische Bäderbahn* Mecklenburgische Bäderbahn Molli GmbH & Co KG (narrow gauge railway)* metronom Eisenbahngesellschaft mbH (local passenger services in the area of Lower Saxony)* MEV Eisenbahn- Verkehrsgesellschaft mbH* mgw Service GmbH & Co KG Kassel* Mindener Kreisbahnen GmbH (MKB) (only goods traffic)* Mittelweserbahn GmbH* Muldental - Eisenbahnverkehrsgesellschaft mbH (MTEG)=== N ===* Neukölln-Mittenwalder Eisenbahn-Ges.