Strahlengang

3.9.2.1 Einstellen der X-Y-Position mit Hilfe einer CCD-Kamera im Strahlengang

3.9.2.1 Setting of the XY-position with the aid of a CCD camera in the optical path

3.9.2.2 Einstellen der X-Y-Position ohne CCD-Kamera im Strahlengang

3.9.2.2 Setting of the XY position without CCD camera in the optical path

strahlengang

beam path

Stimulus-Strahlengang

Stimulus beam path

Bei Differenzen muss der Strahlengang mechanisch nachjustiert werden

In case of differences, the beam path must be mechanically readjusted

Dejustierter Strahlengang

Misaligned beam path

Umfeld-Strahlengang

Environment beam path

Ausserdem muss der 193nm Laserstrahl optimal durch den Strahlengang justiert sein.

In addition, the 193 nm laser beam must be optimally adjusted by the beam path.