Teilchenfluenz

Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Einfluß der Teilchenfluenz des Schwerionenstrahls (11) auf den Kalibrierfaktor überwacht wird.

Method according to one of claims 15 to 19, characterised in that the influence of the particle fluence of the heavy ion beam (11) on the calibration factor is monitored.