Trägerstrom

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden insbesondere kristalliner Schichten auf in einer Prozesskammer auf drehangetriebenen Substrathaltern aufliegenden Substraten, wobei die Substrathalter um das Zentrum eines drehangetriebenen Substrathalterträgers angeordnet sind, welche Substrathalter gemeinsam mit dem Substrathalterträger einen Prozesskammerboden bilden, dem eine Prozesskammerdecke mit zentralem Gaseinlassorgan gegenüberliegt, durch welches zusammen mit einem Trägergas ein- oder mehrere gasförmige Ausgangsstoffe in eine über einem beheizten Zentralbereich des Prozesskammerbodens angeordnete Zerlegungszone eingeleitet werden, die von einer Diffusionszone umgeben ist, aus welcher die im radial auswärts strömenden Trägerstrom transportierten Zerlegungsprodukte zum Substrat gelangen.

[0001] This application is a continuation of pending International Patent Application No. PCT/EP02/06294 filed Jun. 10, 2002 which designates the United States and claims priority of pending German Application No. 101 33 914.3 filed Jul. 12, 2001. FIELD OF THE INVENTION [0002] The invention relates to a method for depositing in particular crystalline layers on substrates lying on rotationally driven substrate holders in a process chamber, the substrate holders being disposed around the center of a rotationally driven substrate holder carrier, which substrate holders together with the substrate holder carrier form a process chamber base, opposite which there is a process chamber cover with a central gas inlet element, through which one or more gaseous starting materials are introduced together with a carrier gas into a decomposition zone which is disposed above a heated central region of the process chamber base and is surrounded by a diffusion zone, from which the decomposition products transported in the radially outwardly flowing carrier stream reach the substrate.

Bei einem Durchfluß-Analysenverfahren zur Gehaltsbestimmung von Proben (FIA), die in einen Trägerstrom eingebracht und mit Reaktanten umgesetzt werden, der ein nachweisrelevantes Umsetzungsprodukt einem Detektor zuführt, werden Probe und Reaktant (vorzugsweise zeitlich aufeinander abgestimmt) zwei kontrollierten zeitprogrammierten Trägerströmen zugeführt, die über eine für die zu bestimmende Komponente und/oder den bzw. die Reaktanten semipermeable Trennschicht zusammengebracht werden.

In a continuous-flow analysis method for determining the contents of samples (FIA) which are introduced into a carrier flow and reacted with reactants, the carrier flow feeds a reaction product which is relevant to the detection to a detector. Sample and reactant (which are preferably adjusted to each other in time) are fed to two monitored time-programmed carrier flows which are brought together via a separating layer which is semipermeable for the component to be determined and/or the reactant(s).

Richtkoppler/verzweigerschaltung für Mittelfrequenz Trägerstrom auf Niederspannungsleitung.

DIRECTIVE SEPARATOR/COUPLER CIRCUIT FOR MEDIUM FREQUENCY CARRIER CURRENTS ON A LOW VOLTAGE ELECTRIC LINE.