Ultraviolettbestrahlung

Ultraviolettbestrahlungsvorrichtung zum Aussenden von Ultraviolettlicht an ein Werkstück und ringförmiger Rahmen (3), der das Werkstück durch ein ultraviolett-empfindliches Klebeband (2) hält, das an einer Rückfläche des Werkstücks angebracht ist, das in Chips geschnitten wurde oder verschiedener Teile, die durch Vereinzelung gebildet wurden, wobei die Vorrichtung folgende Schritte umfasst: • ein Regelelement (11) zum Begrenzen eines Nach-Unten-Verschiebens des Werkstücks, das von dem ringförmigen Rahmen während der Ultraviolettbestrahlung des Werkstücks gehalten wird, bei dem das Regelelement Ultraviolettlicht sendet, dadurch gekennzeichnet, dass das Regelelement in einem Abstand von mindestens 3 mm von einer Unterfläche des Werkstücks angeordnet ist und aus Metalldrähten gebildet ist, die in einem Gitter angeordnet sind.

An ultraviolet irradiating apparatus for emitting ultraviolet light toward a work piece and a ring-shaped frame (3) holding said work piece through an ultraviolet sensitive adhesive tape (2) applied to a back surface of the work piece cut into chips or various parts formed by dicing, said apparatus comprising: • a regulating member (11) for limiting a downward displacement of said work piece held by said ring-shaped frame during ultraviolet irradiation of said work piece, wherein said regulating member transmits ultraviolet light characterized in that said regulating member is disposed at a distance of at most 3mm from an undersurface of said work piece and is formed of metal wires arranged in a grid.

Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es folgende Schritte umfasst, wonach: (a) zwei plattenförmige Gegenstände mit einem sich dazwischen befindlichen Klebemittel in eine Aushärtungskammer mit einer Ultraviolettbestrahlungslampe und einem Heizelement verschoben werden, (b) während mindestens 30 Sekunden ein Wärmeabschirmungselement zwischen den Gegenständen und dem Heizelement gehalten wird, während die Gegenstände einer Ultraviolettbestrahlung unterworfen werden, (c) das Wärmeabschirmungselement für mindestens 60 Sekunden entfernt wird, während die Gegenstände von dem Heizelement erwärmt werden, (d) die Gegenstände aus der Aushärtungskammer entfernt werden.

A method as claimed in any of the preceding claims, characterized by the following steps: (a) moving two plate-shaped objects with an adhesive in between into a cure chamber comprising an ultraviolet irradiation lamp and a heating element; (b) keeping a heat-shielding member between the said objects and the heating element during at least 30 seconds while the said objects are exposed to ultraviolet irradiation; (c) removing the heat-shielding member for at least 60 seconds while the said objects are heated by the heating element; (d) removing the said objects out of the cure chamber.