computerunterstützt

Computerunterstützt

Computer-aided technologies

computerunterstützt steuerun der maschine

computer-based controllers of the machine

rückmelden computerunterstützt

Confirming the computer-aided

Inzwischen ist es auch möglich, Inlays und Kronen computerunterstützt herzustellen.

It is also possible to manufacture dental crowns and inlays using computer support.

... computerunterstützt die richtige Zahnform finden

... computer supports the right tooth shape

computerunterstützt

Computer-aided technologies

computerunterstützt

computerized

Maskenloses Lithographiesystem zur direkten, nanoskalierbaren Strukturierung eines in einer Vakuumkammer angeordneten Substrats mittels eines geladenen Teilchenstrahls, umfassend: ein ansteuerbares digitales Mustererzeugungssystem, welches als programmierbares Aperturplattensystem (35) mit einer Aperturplatte ausgebildet ist, und ein Datenübertragungssystem zum Übertragen eines zu erzeugenden Strukturmusters als computerunterstützt erzeugter Musterdatensatz auf das Mustererzeugungssystem, wobei das Datenübertragungssystem elektrooptische Wandler (9) und optoelektrische Wandler (13) umfaßt, und wobei das Datenübertragungssystem als optoelektrisches Freistrahlverbindungssystem (8) dazu ausgebildet ist, die von den elektrooptischen Wandlern (9) optisch gewandelten Musterdaten auf Lichtaustrittsorte (10) zu verteilen, sie von dort in justierbar ausgerichteten Freistrahlen (11) auf Lichteintrittsorte (12) im Innern der Vakuumkammer (4) zu übertragen, welche in einem Array angeordnet sind, und von dort den optoelektrischen Wandlern (13) zuzuleiten, welche dem Mustererzeugungssystem (6) bezüglich der übertragenen Musterdaten zugeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die optoelektrischen Wandler (13) auf der Aperturplatte des Aperturplattensystems angeordnet sind, wobei die Anzahl N der elektrooptischen Wandler (9) aufgrund ihrer vorgegebenen Wandlungsrate an die zu übertragende Musterdatenrate angepaßt ist.

Maskless lithography system for direct, nano-scaleable structuring of a substrate disposed in a vacuum chamber by means of a charged particle beam, comprising a controllable digital pattern generating system formed as a programmable aperture plate system (35) with an aperture plate, and a data transmission system for transmitting a structure pattern to be formed as a set of pattern data, generated with computer assistance, to the pattern generating system, said data transmission system comprising electro-optical converters (9) and opto-electrical converters (13), and wherein said data transmission system is configured as an opto-electrical free beam connection system (8) to distribute the pattern data optically converted by the electro-optical converters (9) onto light exit locations (10), to transmit said pattern data from there in adjustably oriented free beams (11) onto light entry locations (12) arranged in an array inside the vacuum chamber (4), and to guide said pattern data from there to the opto-electrical converters (13) associated with the pattern generating system (6) with respect to the transmitted pattern data, characterized in that the opto-electrical converters (13) are arranged on the aperture plate of the aperture plate system, the number N of the electro-optical converters (9) being adapted to the rate of pattern data to be transmitted, based on the predetermined transmission rate of the electro-optical converters (9).