feature size

Regardless of Feature Size

Unabhängig von der Feature-Größe

Feature size

Größe der Komponente

A guiding target will be a feature size or resolution of the order of 10 nm.

Als Zielvorgabe kann eine Strukturabmessung oder Auflösung von 10 nm gelten.

Capable of producing a pattern with a "minimum resolvable feature size" of 180 nm or less;

b) geeignet, "kleinste auflösbare Strukturbreiten" von kleiner/gleich 180 nm zu erzeugen,

Beam current drift Beam position drift Minimum feature size

Strahlstromdrift Strahlposition treiben minimale Strukturgröße

minimum feature size

minimale Strukturgröße

Regardless of feature size

Unabhängig von Strukturgröße

Minimum feature size 0.012in

Minimale Strukturgröße 0.012in