oxidizing atmosphere

This is accomplished by heat treatment in an oxidizing atmosphere, by etching, or by electrochemical roughening.

Dies gelingt durch Wärmebehandlung in oxidierender Atmosphäre, durch Ätzen oder elektrochemisches Aufrauhen.

A process for manufacturing polycrystalline silicon from metallic silicon, which comprises the following steps: a. melting metallic-grade silicon under vacuum to remove the phosphorus contained therein by evaporation, and then carrying out directional solidification of the residue for the removal of the impurity elements from the molten silicon, thereby obtaining a first ingot; b. removing the impurity concentrated portion of the first ingot by cutting; c. re-melting the remaining portion, removing boron and carbon from the melt by oxidizing under an oxidizing atmosphere, and in succession, blowing an argon gas or a mixed gas of argon and hydrogen into the melt for deoxidization. d. casting the deoxidized melt in a mold, followed by directional solidification to obtain a second ingot; and e. removing the impurity concentrated portion of the second ingot by cutting.

Verfahren zum Herstellen von polykristallinem Silizium aus metallischem Silizium, das die folgenden Schritte umfasst: a. Schmelzen von metallischem Silizium im Vakuum, um den darin enthaltenen Phosphor durch Verdampfen zu entfernen, und anschließendes Ausführen gerichteter Erstarrung des Rückstandes, um die Verunreinigungselemente aus dem geschmolzenen Silizium zu entfernen, um einen ersten Block herzustellen; b. Entfernen des konzentriert verunreinigten Teils des ersten Blockes durch Abschneiden; c. erneutes Schmelzen des verbliebenen Teils, wobei Bor und Kohlenstoff durch Oxidieren in einer oxidierenden Atmosphäre aus der Schmelze entfernt werden, und anschließendes Blasen eines Argon-Gases oder eines Gasgemischs aus Argon und Wasserstoff in die Schmelze, um Desoxidation auszuführen; d. Gießen der desoxidierten Schmelze in eine Form und anschließend gerichtete Erstarrung, um einen zweiten Block herzustellen; und e. Entfernen des konzentriert verunreinigten Teils des zweiten Blocks durch Abschneiden.