wafer processing

Enhance capacity, quality and reliability of Backend wafer processing for MOSFETs

Ausbau der Kapazitäten, die Qualität und Zuverlässigkeit der Backend Wafer-Verarbeitung für MOSFETs

Backend wafer processing

Backend Wafer-Verarbeitung

CHAMBER AND ASSOCIATED METHODS FOR WAFER PROCESSING

EINE KAMMER UND EIN ASSOZIIERTES VERFAHREN FÜR WAFERHERSTELLUNG

MULTI-SINGLE WAFER PROCESSING APPARATUS

MEHRFACH-EINZELWAFER-VERARBEITUNGSVORRICHTNG

5.3 Wafermap - Results of wafer processing

5.3 Wafermap - Ergebnisse der Waferbearbeitung

Wafer processing.

Plättchen-Verarbeitung.

Wafer processing

Halbleiterscheibenfertigung

A semiconductor wafer processing tape includes a permanent backing and a layer of a nonpressure sensitive adhesive. The tapes are useful for wafer grinding and/or wafer dicing applications. The nonpressure sensitive adhesive includes a copolymer of at least one of a first monoethylenically unsaturated monomer, at least one of a second monoethylenically unsaturated monomer, and at least one copolymerizable nonionic cross-linking agent; wherein the second monoethylenically unsaturated monomer is reinforcing monomer having a homopolymer glass transition temperature higher than that of the first monoethylenically unsaturated monomer. A method of processing semiconductor wafers is also provided.

Eine Halbleiter-Wafer Verarbeitung Band beinhaltet eine ständige Unterstützung und eine Schicht von einem sensiblen Nonpressure-Kleber. Die Bänder eignen sich für Wafer Schleifen und/oder Wafer Würfeln Anwendungen. Der empfindliche Nonpressure-Kleber enthält ein Copolymer aus mindestens einer ersten Monoethylenically ungesättigten Monomer, mindestens einen zweiten Monoethylenically ungesättigten Monomer und mindestens eine copolymerizable nichtionogene Vernetzungs-Agent; worin die zweite Monoethylenically ungesättigten Monomer verstärkt Monomer mit eine Homopolymer-Glasübergangstemperatur höher als bei der ersten Monoethylenically ungesättigten Monomeren. Eine Methode zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben (wafers) ist ebenfalls vorhanden.