Fertigungsserie

4 Anhand der Unterteilung der Motoren nach Kennummern muß sich die Fertigungsserie eindeutig bestimmen lassen.

The engines must be classified by means of their identification numbers in such a way that the production sequence can be determinated unambiguously.

Fertigungsserie

Production series

4 Anhand der Unterteilung der Motoren nach Kennummern muss sich die Fertigungsserie eindeutig bestimmen lassen .

4 . The engines must be classified by means of their identification numbers in such a way that the production sequence can be determinated unambiguously .

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zur Bewertung von Strukturfehlern auf einer Waferoberfläche gelöst, bei dem eine soeben erfaßte Oberflächeninformation eines Einzelbildfeldes der Waferoberfläche mit elektronisch gespeicherten Referenzinformationen verglichen wird, die aus zuvor erfaßten Oberflächeninformationen ortsidentischer Einzelbildfelder aus einer Vielzahl von Waferoberflächen derselben Fertigungsserie und Struktur generiert worden sind.

[0020] This object is achieved by way of a method for evaluating pattern defects on a wafer surface, in which surface data of an individual image field of the wafer surface that have just been acquired are compared to electronically stored reference data that have been generated from previously acquired surface data of identically located individual image fields from a plurality of wafer surfaces of the same production series and pattern.