Galvanometer

Galvanometer, Spiegelgalvanometer

Galvanometer mirror galvanometer

Eine günstige Variante sieht vor, dass als Schwenkantrieb ein Galvanometer verwendet wird.

A desirable variant provides that a galvanometer is used as the pivotal drive.

Die Einrichtung zur Streulichtmessung muß so beschaffen sein, daß das Galvanometer bei dunkler Kugel keinen Ausschlag liefert.

Suitable abrasive wheels may be obtained from Teledyne Taber (United States of America).

Ein solches Galvanometer muss absolut waagrecht und erschütterungsfrei stehen.

Such a galvanometer must be set up absolutely horizontally and vibration-free.

Verfahren zum Verstellen eines Elements, wobei ein mit dem Element verbundener Galvanometer-Aktor sowie eine Steuereinheit vorgesehen sind, die ein Stellsignal für den Aktor liefert, um das Element gemäß eines frei vorgebbaren zeitlichen Soll-Positionsverlaufs zu verstellen, wobei der vorgegebene Soll-Positionsverlauf mittels eines Vorfilters von der Steuereinheit überprüft und falls erforderlich hinsichtlich seiner Realisierbarkeit modifiziert wird, wobei die Steuereinheit das Stellsignal aus dem derart gefilterten Soll-Positionsverlauf unter Berücksichtigung eines Modells der Einheit aus dem Aktor und dem Element ermittelt, wobei das Modell ein zeitdiskretes Zustandsraummodell ist und so gewählt ist, daß es für einen frei vorgebbaren zeitlichen Verlauf des Stellsignals den entsprechenden zeitlichen Positionsverlauf des Elements mit vorgegebener Genauigkeit vorhersagen kann, wobei ein Positionssensor vorgesehen ist, der ein Positionssignal entsprechend der Position des Elements liefert und der Steuereinheit zuführt, die das Positionssignal bei der Ermittlung des Stellsignals berücksichtigt, wobei die Ermittlung des Stellsignals aus dem Modell nur zu vorgegebenen Steuer-Zeitpunkten des Soll-Positionsverlaufs erfolgt, wobei der Wert des Stellsignals zu einem Steuer-Zeitpunkt dadurch ermittelt wird, daß gefordert wird, daß die summierte, gewichtete Differenz zwischen der Soll-Position und der von dem Modell vorhergesagten Position für die nächstfolgenden Steuer-Zeitpunkte für diesen Wert des Stellsignals minimal wird, und wobei der so ermittelte Wert des Stellsignals mindestens bis zum nachfolgenden Steuer-Zeitpunkt angelegt wird.

Method for positioning an element, whereby a galvanometer actuator that is connected to the element and a control unit are provided, said control unit generating a control signal for the actuator for positioning the element according to a arbitrary time varying course of desired position values, whereby said course of desired position values is verified and if necessary is modified taking its feasibility into account by the control unit by means of a pre-filter, in which the control unit determines the control signal from the such pre-filtered course of desired position values taking into account a model of the unit comprising the actuator and the element, whereby said model is a discrete time state space model selected such that said model can predict the time varied course of position values of the element for an arbitrary course of control values with predetermined accuracy, whereby a position sensor is provided which generates a position signal according to the position of the element and supplies said signal to the control unit, which takes said position signal into account for calculation of the control signal, whereby said calculation of the control signal by means of the model is only carried out at predetermined control times related to the sample times of the course of desired position values, whereby the value of the control signal is calculated at a control time by the condition that the summed-up, weighted difference between the desired position and the position predicted by the model becomes minimal for the next control times for said value of the control signal, and whereby the thus determined value of the control signal is applied at least until the next control time.

Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausschnitt des Soll-Positionsverlaufs hinsichtlich Realisierbarkeit optimiert wird, wenn er als nicht realisierbar erkannt wurde, wobei der optimierte Soll-Positionsverlauf hinsichtlich seiner Realisierbarkeit durch Ermittelung der zugehörigen Stellsignal überprüft wird., Vorrichtung zum Verstellen eines Elements, wobei ein mit dem Element verbundener Galvanometer-Aktor sowie eine Steuereinheit vorgesehen sind, die ein Stellsignal für den Aktor liefert, um das Element gemäß eines frei vorgebbaren zeitlichen Soll-Positionsverlaufs zu verstellen, wobei der vorgegebene Soll-Positionsverlauf mittels eines Vorfilters von der Steuereinheit überprüft und falls erforderlich hinsichtlich seiner Realisierbarkeit modifiziert wird, wobei die Steuereinheit so ausgebildet ist, daß sie das Stellsignal aus dem derart gefilterten Soll-Positionsverlauf unter Berücksichtigung eines Modells der Einheit aus dem Aktor und dem Element ermittelt, wobei das Modell ein zeitdiskretes Zustandsraummodell ist und so gewählt ist, daß es für einen frei vorgebbaren zeitlichen Verlauf des Stellsignals den entsprechenden zeitlichen Positionsverlauf des Elements mit vorgegebener Genauigkeit vorhersagen kann, wobei ein Positionssensor vorgesehen ist, der ein Positionssignal entsprechend der Position des Elements liefert und der Steuereinheit zuführt, die das Positionssignal bei der Ermittlung des Stellsignals berücksichtigt, wobei die Ermittlung des Stellsignals aus dem Modell nur zu vorgegebenen Steuer-Zeitpunkten des Soll-Positionsverlaufs erfolgt, wobei der Wert des Stellsignals zu einem Steuer-Zeitpunkt dadurch ermittelt wird, daß gefordert wird, daß die summierte, gewichtete Differenz zwischen der Soll-Position und der von dem Modell vorhergesagten Position für die nächstfolgenden Steuer-Zeitpunkte für diesen Wert des Stellsignals minimal wird, und wobei der so ermittelte Wert des Stellsignals mindestens bis zum nachfolgenden Steuer-Zeitpunkt angelegt wird.

Method according to Claim 6 or 7, in which the section of the course of desired position values is optimised according to its feasibility if it is found not to be feasible, whereby the optimised course of desired position values is checked according to its feasibility by the calculation of the associated control signals. Device for positioning an element, whereby a galvanometer actuator that is connected to the element and a control unit are provided, said control unit generating a control signal for the actuator for positioning the element according to a arbitrary time varying course of desired position values, whereby said course of desired position values is verified and if necessary is modified taking its feasibility into account by the control unit by means of a pre-filter, whereby the control unit is built such that it determines the control signal from the such pre-filtered course of desired position values taking into account a model of the unit comprising the actuator and the element, whereby said model is a discrete time state space model selected such that said model can predict the time varied course of position values of the element for an arbitrary course of control values with predetermined accuracy, whereby a position sensor is provided which generates a position signal according to the position of the element and supplies said signal to the control unit, which takes said position signal into account for calculation of the control signal, whereby said calculation of the control signal by means of the model is only carried out at predetermined control times related to the sample times of the course of desired position values, whereby the value of the control signal is calculated at a control time by the condition that the summed-up, weighted difference between the desired position and the position predicted by the model becomes minimal for the next control times for said value of the control signal, and whereby the thus determined value of the control signal is applied at least until the next control time.