Maskentechnik

Röntgentransmissionsfenster aus Beryllium und dünne Berylliumschichten als Basisträger für die Maskentechnik in der Röntgenlithographie sind seit langem bekannt.

X-ray transmission windows consisting of beryllium and thin beryllium layers as a substrate for mask technology in X-ray lithography have been known for a long time.

In den vier beschriebenen Ausführungsbeispielen wird bei der Herstellung der Phasenmasken lediglich von in der Halbleitertechnologie oder Maskentechnik gebräuchlichen Standardprozeßschritten Gebrauch gemacht.

In the four described exemplary embodiments, the manufacture of the phase masks utilizes only standard process steps that are usual in semiconductor technology or mask techniques.