Teilfeld

Dazwischen kann ein und dasselbe Teilfeld oder eine Kombination von Teilfeldern wiederholt auftreten.

Between these, repeating occurrences of a same subfield or combination of subfields may take place.

Das Teilfeld "ptid" im Primärfeld "coordata" muss entweder

Subfield "ptid" within Primary field "coordata" shall contain either:

System nach Anspruch 12, bei dem der Optikbereich (102) Folgendes umfasst: Strahlablenkungsplatten (111) zum Ablenken des Strahls auf einen genauen Ort; ein Positionsfokussierungsmittel (104a) zum Neufokussieren des Strahls auf ein Referenzziel; ein Autofokussierungsmittel (104b) zum Justieren des Strahlfokus auf Höhenänderungen des Ziels; magnetische Strahlablenkungsmittel (106, 108) zum magnetischen Ablenken des Strahls auf ein Teilfeld; und eine Ablenkspule (110) zum Verschieben der Achse der Projektionslinse, welche die variable Achse der Linse verschiebt, damit diese dem abgelenkten Strahl folgt. System nach Anspruch 13, bei dem das Positionsfokussierungsmittel (104a) und das Autofokussierungsmittel (104b) ein Paar konzentrischer Spulen bilden. Teilchenstrahlsystem nach Anspruch 13, bei dem das Positionsfokussierungsmittel (104a) und das Autofokussierungsmittel (104b) durch eine einzige Spule bereitgestellt werden.

The system of claim 12 wherein the optics section (102) comprises: beam deflection plates (111) for deflecting the beam to a precise location; registration focus means (104a) for refocusing the beam onto a reference target; autofocus means (104b) for adjusting beam focus for target height variations; magnetic beam deflection means (106, 108) for magnetically deflecting the beam to a subfield; and a projection lens axis shifting yoke (110) shifting the lens variable axis to follow the deflected beam. The system of claim 13 wherein the registration focus means (104a) and the autofocus means (104b) are a pair of concentric coils. The particle beam system of claim 13 wherein the registration focus means (104a) and the autofocus means (104b) are provided by a single coil.

(NE) Das Teilfeld "seqnum" muss die laufende Nummer enthalten.

Sub-field "seqnum" shall contain the sequence number.

Bei Feld 1 wird das dritte Teilfeld fix mit Wert „T2L“ vorbelegt.

In Field 1, the third sub-field is initialized with fixed value "T2L".

Erstes Teilfeld

First sub-division

Zweites Teilfeld

Second sub-box

Hilfsterme leiten kein Feld oder Teilfeld ein und stehen daher nicht im Zusammenhang mit einem bestimmten Schlüsselwort.

Auxiliary terms do not introduce a field or subfield and hence, are not associated with a particular keyword.