doppelbrechend

doppelbrechend

birefringent

Beleuchtungssystem der Mikrolithographie mit einem Excimer-Laser (1) mit einer Emissionswellenlänge einem Strahlaufweitungssystem (2) einem Lichtmischsystem (5) einer Beleuchtungsebene, wobei, ein optisches Element (DP) aus doppelbrechendem Material in einem Lichtbündelquerschnitt angeordnet ist, das optische Element (DP) derart doppelbrechend ist und das optische Element (DP) und das Lichtmischsystem (FL1, L1, 5) derart angeordnet sind, daß dadurch Licht ohne Polarisationsvorzugsrichtung in der Beleuchtungsebene erzeugt wird.

Illuminating system in microlithography, having an excimer laser (1) with an emission wavelength, a beam expanding system (2), a light mixing system (5), and an illumination plane, wherein an optical element (DP) made from birefringent material is arranged in a light bundle cross section, characterized in that the optical element (DP) is birefringent in such a way, and the optical element (DP) and the light mixing system (FL1, L1, 5) are arranged in such a way that as a result light is produced without a privileged polarizing direction in the illumination plane.

Sobald das Reaktionsgemisch viskos und doppelbrechend ist, wird das offene Reaktionsgefäß für 12 h bei 50°C gelagert, worauf die Mischung zu einem harten Glas erstarrt.

Once the reaction mixture is viscous and birefractive, the open reaction vessel is left to stand for for 12 h at 50 mixture solidifies to a hard glass.

Sobald das Reaktionsgemisch viskos und doppelbrechend ist, wird das offene Reaktionsgefäß für 12 h bei 50°C gelagert, worauf die Mischung zu einem harten Glas erstarrt.

Once the reaction mixture is viscous and birefractive, the open reaction vessel is left to stand for for 12 h at 50 the reaction mixture solidifies to a hard glass.

Die Ausbreitungsgeschwindigkeit der beiden Moden ist nun unterschiedlich, die Faser wird doppelbrechend, und bei langen Glasfaserstrecken kann der relative Gruppenlaufzeitunterschied, differential group delay, die Größenordnung einer Bitdauer des Übertragungssignals erreichen.

The propagation speed of the two modes is then different, the fiber becomes double-refracting and, in the case of long optical fiber paths, the differential group delay may attain the order of magnitude of one bit period of the transmission signal.