einkristallin

einkristallin

monocrystalline

In speziellen Fällen kann das Schichtwachstum auch einkristallin erfolgen.

In special cases, the layer growth may also take place in monocrystalline form.

Während die Pufferschicht die Basisschicht und Cap-Schicht einkristallin über dem Silizium-Substrat wachsen, entstehen polykristalline Schichten über dem Isolationsgebiet Nach photolithografischer Maskierung werden Trockenätztechniken eingesetzt, um die Epitaxieschicht in denjenigen Gebieten zu entfernen, in denen keine Transistoren entstehen.

While the buffer layer , the base layer and the cap layer grow—as monocrystal materials—on the silicon substrate, polycrystal layers / , / and / arise over the insulation zone . After photolithographic masking, dry-etching techniques are applied to remove the epitaxy layer in those regions in which no transistors arise.